4月29日下午，位于黄石开发区·铁山区的晶芯半导体12英寸晶圆再生项目举行投片仪式，有着“台湾DRAM教父”之称的高启全自去年从紫光离职之后，传闻已加盟晶芯半导体（黄石）有限公司（以下简称“晶芯半导体”），在此次的投片仪式上，高启全也正式以晶芯半导体董事长的身份首度亮相。

资料显示，晶芯半导体是由台湾半导体设备厂商——辛耘企业股份有限公司携手高启全投资设立，是湖北省半导体产业的重点发展计划。在该计划中，预计建设4条晶圆再生生产线，于2020年7月开工，总投资金额达到人民币23.13亿元，占地面积72亩，将分4期兴建。其中，第1 期投资人民币7.78 亿元，将建设一条晶圆再生生产线，预估今年5月到6月开始客户认证，8月小量试产，年底前产量能达每月10 万片。晶芯半导体在4期全部量产后，预计可达到月产40万片的产能规模。

 

硅片是半导体生产的基础材料之一，硅片在晶圆厂中的应用可以分为两大类：正片是被直接用在半导体加工，包括抛光片、外延片等；另一种是用于监控测试的硅片，包括控片（monitor wafers）、档片/测试片（dummy wafers）、测试晶圆（Test Wafer）。

 

其中，控片主要用来监控机台的制程能力是否稳定、生产环境是否洁净。通过使用控片，可以对离子注入、薄膜沉积、光刻、刻蚀和研磨等工艺中的电阻率、薄膜沉积速率、刻蚀速率、研磨速率、均匀性等进行监测。

挡片的作用主要是维持机台的稳定，使用对象包括炉管、暖机挡片、传送挡片等。在炉管中，挡片被用来隔绝工艺条件较差的部分，以及填充产品不足时空出的位置，对炉管内的气流进行阻挡分层，并让温度均匀分布。

控片和挡片的来源可以是由晶棒两侧品质较差处所切割出来的全新晶圆或者是再生晶圆。所谓再生晶圆，是指芯片制造中使用过的控片及档片/测试片进行回收处理，即通过刻蚀、轮磨、化学机械抛光及清洗等工艺，将晶圆表面恢复到初始状态，再投入生产线使用，主要客户为全球晶圆制造及晶圆代工厂商。

由于晶圆制造厂对于控片、档片/测试片的消耗量大，若都使用全新的挡控片，会导致成本过高，因此市场对于再生晶圆有着较高的需求。

根据 2018 年 SEMI 报告显示，再生矽晶圆市场 2017 年达 5.1 亿美元，2018 年上扬 19% 并达到 6.03 亿美元的规模，主要是日本供应商称霸市场，在 8 寸和 12 寸再生晶圆产能方面占比最高。

目前全球前四大再生晶圆供应商龙头为日本 RS Technologies，其他四家为台湾供应商：升阳、中砂与辛耘。

资料显示，晶芯半导体的投资方——辛耘企业股份有限公司主要从事三大业务：代理设备、自制设备与再生晶圆，占比最大的是代理设备约占 58%。目前辛耘在台湾的再生晶圆业务月产能约为 12万片，预计在台厂房今、明两年要再扩4万片，上看16万片。大陆几乎所有 12 吋晶圆厂都是辛耘的客户，因此辛耘对大陆半导体产业市况非常熟悉，认为要在大陆本地设厂，就近服务当地客户，才能符合效率和成本。

此前，辛耘CEO许明棋曾表示，由于中国政府欲提高半导体自给率而加大晶圆厂投资，加上中国大陆方面目前并没有处理再生晶圆的企业，所以在目前相关需求都必须送交台湾或日本处理的情况下，看好中国市场对再生晶圆之需求，因此公司联合台湾大厂共同在湖北省黄石市投资合资公司，其中辛耘持股超过20%。

自此次投片仪式上，高启全也表示，中国大陆的12吋晶圆厂投资需要有完善的供应链来保障工厂运营稳定及成本竞争力，这也是2020年9月他离开紫光集团，转战半导体供应链领域的主要原因之一。他除了在黄石创立第一家芯片原物料公司，也在其他省份地区投资晶圆厂所需要的关键原物料。大陆的半导体晶圆厂一座座盖起，对晶圆再生需求非常强劲，短板是没有本地供应的晶圆再生厂，都要从海外运到大陆，成本无形中垫高。

“中国大陆半导体产业已成规模，但供应链还不完善，其晶圆再生需要送到台湾、日本进行，成本高企。”投片仪式上，高启全说，黄石毗邻光谷，距离长江存储、中芯国际等芯片公司仅1小时车程，可以就近提供配套。

高启全进一步指出，目前再生晶圆每片单价约 20 ～ 30 美元，可回收再利用 4 ~ 7 次，如果把再生晶圆从台湾运到大陆使用，运费等因素会导致每片晶圆的成本多出 4 美元。长期来看，工厂要设立在大陆供应本地晶圆厂会更有竞争力。

编辑：芯智讯-林子