低级事故不断,AMHS国产替代“道阻且长”!

众所周知,半导体芯片制造流程非常长,需要用到数十种半导体设备,经过数百道工序才能完成。其中,前道制造环节所涉及的光刻机属于是高价值的核心设备,也是被众多网友关注最多的设备。

然而,对于晶圆厂的制造产线来说,光刻机之类的关键设备发生故障可能并不是最严重的问题。毕竟这部分的制造流程中断,短时间并不会影响到其后续制造流程。比如前面已经完成了光刻的晶圆,可以继续进入到刻蚀、清洗、薄膜沉积等后续制造环节。

但是如果晶圆厂的“AMHS系统”发生故障甚至阻塞,则可能将使得全产线陷入瘫痪。

AMHS是一个比较“小众”的行业,全称是Automatic Material Handling System,即“自动物料搬运系统”。它不仅承载着晶圆、硅片、光罩等生产材料的自动化运输任务,还通过精准的物料管理和高效的物流调度,保证Fab厂的生产线持续高效运转。

低级事故不断,AMHS国产替代“道阻且长”!

△晶圆厂天车运作示意图,与文章所指事故无关

目前AMHS系统在半导体晶圆制造环节应用已经非常普及。从8英寸晶圆厂开始,AMHS的AGV(自动导向车)地面方案和“空中走行式无人搬送车”(OHT天车)方案就已经逐步导入,到了12英寸晶圆厂时代,OHT天车方案已经成了标配,成为了AMHS系统中的核心。随着先进封装技术的发展,AMHS也开始逐步进入了封测领域。

作为半导体从业人员,我者曾进入多家Fab厂中深度学习参观,对AMHS系统也有了较深的理解。目前该领域目前绝大部分市场仍旧被牢牢握在几家日本厂商手里,国产替代仍旧处于起步阶段,仅有少数的几家企业拥有导入先例。

一个月前黎巴嫩BB机爆炸事件,引发了公众对于国外电子设备安全性的恐慌,让国产替代再次登上热搜。很多朋友也曾问过我AMHS的国产替代是否有大量机会,作为真正和这个行业打过交道的人,我想先说一句:AMHS国产替代,真的没那么简单。这个行业,太吃经验了!

为什么说AMHS国产替代难

笔者曾参观某封测厂,了解到其使用的某国产天车厂商提供的天车的4根皮带全部断裂。据内部人员阐述,该厂商还曾发生过天车着火的重大事故。除此以外,业内也曾流传有其他国产天车厂商发生天车冒烟事件。我们一直鼓励国产替代多加尝试,突破“卡脖子”、突破海外垄断的局面,但我还是不禁有所疑问,国产替代真的只能做到“简单替代”吗?

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△事故现场图。某封测厂内,某国产天车四根皮带断裂。(出于隐私考虑,故对图片进行了模糊化处理)

要知道,晶圆制造是一个高度复杂且极度精细的过程,包含了从晶圆切片、清洗、光刻、蚀刻、沉积、金属化到封装测试的多个关键步骤。在这一过程中,AMHS负责将各种生产材料从一个工序精准运输到下一个工序。据SEMI统计,每一个生产周期中,晶圆要经过数百次的移动,而这些移动几乎完全依赖AMHS完成。如果AMHS出现故障,晶圆无法被及时运输到下一工序,整个生产线将停滞。

如果晶圆处于不稳定环境下的时间越长,其良品率就会越低,甚至会导致整批晶圆报废,给Fab厂带来不可挽回的损失。假如这次天车履带断裂发生在蚀刻或沉积等关键工序中,如果晶圆未能按时被转移,表面的微结构可能受到氧化、污染等影响,直接影响芯片性能。因此,AMHS的稳定运行不仅关乎生产效率,还直接影响到最终产品的质量。

研究机构VLSI的数据表示,在半导体制造的各个阶段,AMHS系统的故障每次都可能引发价值百万美元的损失,而生产中断带来的间接损失更是难以估量。尤其是在目前Fab厂追求高稼动率的背景下,哪怕是几分钟的AMHS系统中断,都可能导致晶圆在敏感环境下的时间超标,最终带来的是整个生产计划的推翻与大量的重新调度。

上述国产天车履带断裂问题便是一个典型的例子,履带损坏直接导致Fab厂的天车无法正常运行,生产线被迫停产数天,带来的不仅是时间的浪费,生产效率的大幅降低,还使得客户对产品质量和稳定性的信心受挫。

从正常的生产节奏来看,晶圆制造的每个流程都有其严格的时间要求,AMHS的稳定性决定了这些流程能否有序衔接。比如光刻之后的晶圆必须在特定时间内完成蚀刻,延误会导致晶圆表面的光刻胶失效。而在封装测试阶段,若AMHS故障,测试结果延迟反馈,出货时间将大幅推迟。这种生产中断不仅会影响单批次的生产,还可能使得整个Fab厂的生产计划被迫重新调整,进而影响到整条供应链的正常运转。

经验至上的AMHS行业

AMHS的复杂性往往不局限于机械和电子系统的设计上,反而是实际应用与导入经验,尤其在与Fab厂生产工艺的深度融合能力上,对于生产效率影响更多。也就是说,AMHS厂商不仅需要懂得如何设计一套自动化系统,更重要的是,如何让这套系统在极端复杂的生产环境中实现长期稳定运行。

如今的AMHS设计中已经引入了大量仿真技术,但这些还远远达不到EDA工具在芯片设计中所起到的仿真模拟作用。宏观视角看,AMHS涉及整个天车的运行逻辑、轨道设计以及物料调度。而在微观层面,从天车的电缆布线、分立器件的排布到电机和传感器的选型,任何一个环节的设计缺陷都可能导致系统的不稳定运行。

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△AMHS流程模拟图

相信这次国产天车履带断裂事件能为AMHS国产替代提供重要教训,因为这一问题并非技术层面的创新不足,而是经验不足导致设计中的瑕疵没有被及时发现并解决。没有足够实际运行经验的厂商,即使拥有最先进的技术,在遇到复杂且高强度的生产环境时也可能出现各种意想不到的问题,而这些问题往往会在实际生产中以更大的代价暴露出来。

国产替代还要走多久?

近年来,国内半导体行业大力推动AMHS的国产替代,力争减少对外部供应链的依赖。然而,国产替代并不是简单的技术复制和模仿,它是一个长期的技术积累和经验沉淀的过程。虽然国内一些厂商在技术研发上取得了显著进展,但与日本村田机械和日本大福等国际领先企业相比,仍存在较明显的经验差距。

第三方机构的数据显示,目前在半导体领域,全球AMHS市场规模在20亿美金左右,主要被日本村田机械和日本大福所垄断,市占率达95%以上。

根据IC Insight报告分析,全球顶尖的AMHS供应商在Fab厂中已积累了数十年的实战经验,不仅对各类复杂生产流程了如指掌,还能迅速应对生产中出现的突发情况。这种经验是国内很多新兴企业所缺乏的。

因此,在推动国产替代的过程中,我们不能一味追求低成本或短期效益,必须优先选择那些在国内外拥有大量经验的企业,确保国产AMHS系统在实际应用中的稳定性和可靠性。

总而言之,AMHS国产替代的道路还需脚踏实地推进,经验的积累远比技术突破更加重要。也只有那些拥有深厚经验、能与国际标准对标的企业,才能在这场国产替代的浪潮中立足,真正引领行业前进。

作者:鹿工 编辑:芯智讯-浪客剑

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