12月24日晚间，国产半导体设备厂商华海清科发布公告称，公司及上海分公司拟合计使用自有资金不超过10.045亿元，收购参股子公司芯嵛半导体（上海）有限公司（以下简称“芯嵛半导体”）剩余82%的股权。交易完成后，芯嵛半导体将成为华海清科全资子公司。

公告显示，芯嵛半导体主要从事集成电路离子注入机的研发、生产和销售，目前实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备，相关产品已发往客户端验证。芯嵛公司核心技术团队专注于离子注入行业 30 多年，具有丰富的离子注入行业经验，在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数，并对设备核心模块离子束流系统的传输路径进行了升级改进，使得芯嵛半导体目前的产品较同类竞品的晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率更优，且设备零部件的国产化率更高。

截至审计基准日（2024 年 5 月 31 日），芯嵛半导体已发出的离子注入设备尚在客户验证过程中，尚未形成收入。截至本报告披露日，芯嵛公司已有部分机台实现验收。2023年及2024年1—5月，芯嵛半导体实现归属净利润分别约为-2442.08万元、-1516.68万元。经交易双方协商确定，芯嵛半导体 100%股权的整体价格定为 122,500 万元。

从股权结构上来看，上海凯城半导体科技合伙企业（有限合伙）为芯嵛半导体控股股东，CHEN WEI及 CHEN JIONG 为芯嵛半导体的共同实际控制人。

根据公告显示，离子注入设备涉及高压电子、机械、电气、计算机控制、等离子体物理等基础科学，理论门槛高，系统集成难度大。根据 SEMI 数据，在全球及国内市场中，超过九成的设备仍由美国应用材料公司、美国亚舍立公司供应，市场集中度较高。目前，根据公开信息，国内开展离子注入设备研发和生产的公司包括芯嵛半导体、北京烁科中科信电子装备有限公司、上海凯世通半导体股份有限公司和青岛四方思锐智能技术有限公司等。

近年来，中国集成电路产业规模迅速增长。根据SEMI数据，2025年全球12英寸晶圆厂设备资本支出强度预计提升，有望达到1165亿美元，同比增长20%；且2026年有望达到1305亿美元。中国市场2022年、2023年半导体设备市场规模分别达到282.7亿美元、356.97亿美元，增速明显高于全球。

作为收购方，华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备供应商，开发出了CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等，初步实现了“装备+服务”的平台化战略布局。今年前三季度公司实现营业收入24.52亿元，同比增长33.22%；归母净利润7.21亿元，同比增长27.8%。

华海清科表示，芯嵛半导体目前尚处于亏损状态，并且预计未来短期内仍将持续亏损，本次收购完成后公司也将加大此类业务的研发投入，以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发，同时公司本次采用现金方式支付转让对价，公司股本规模不因本次收购交易发生变化，因此，本次收购完成后，公司原有业务的每股收益将被新增业务板块摊薄。

值得一提的是，芯嵛半导体的共同实际控制人CHEN JIONG也曾是另一家离子注入设备公司——上海凯世通半导体（以下简称“凯世通”）的创始人。CHEN JIONG于2009年在浦东张江成立了上海凯世通半导体，随后逐步开发出应用于太阳能、集成电路和AMOLED领域的离子注入机产品。

2018年，万业企业发布公告称，宣布以9.7亿元的估值收购凯世通。不过由于2018年国际宏观经济形势发生变化，国内光伏新政出台后，国内光伏企业都受到了影响。而作为光伏产业上游设备供应商，凯世通经营状况也不可避免的受到了影响。因此，在2018年年底，万业企业宣布，经各方协商一致，同意调整公司对凯世通的收购方案，将收购标的凯世通整体估值由9.7亿元降至3.98亿元，同时，拟取消原有的业绩对赌协议。

令人意外的是，CHEN JIONG在将凯世通卖给上市公司万业企业之后（万业企业于2018 年7月16日宣布收购凯世通100%股权），仅一个月之后的2018年8月16日就创立了同样研发离子注入设备的芯嵛半导体，现在又把芯嵛半导体给卖给了上市公司华海清科。确实厉害！

编辑：芯智讯-浪客剑