据路透社报道，去年11月《日经新闻亚洲评论》曾援引消息人士的话称，荷兰半导体制造设备供应商阿斯麦尔（ASML）公司已经中止和中芯国际的7nm及以下的先进工艺EUV光刻机合作计划，并表示此举是受到了美国政府干预，但是中芯国际和阿斯麦尔两家公司当时均否认了日经新闻的报道。对此，路透社援引知情人士的话称，美国政府确实参与了阻止阿斯麦尔向中芯国际出售光刻机的行动。

两名知情人士对路透社表示，美国的行动始于2018年，当时荷兰政府向半导体设备公司阿斯麦(ASML)颁发许可证，允许其向中国客户出售其最先进的设备。三位消息人士告诉路透，在接下来的几个月里，美国官员研究了是否可以彻底阻止这笔交易，并与荷兰官员举行了至少四轮会谈。路透社称2019年7月18日，美国的努力达到了顶峰，时任美国国家副安全顾问的查尔斯·库珀曼（Charles Kupperman）在荷兰总理马克·吕特（Mark Rutte）访问美国期间向荷兰官员提出了这个问题。据报道，美国向荷兰总理吕特提供了一份情报报告，内容涉及中国收购ASML技术的潜在影响。

一位熟悉此事的美国前政府官员称，美国施加的压力似乎起作用了。在白宫访问后不久，荷兰政府决定不续签ASML的出口许可证，这台价值1.5亿美元的机器因此并未交付给中芯国际。荷兰总理吕特的办公室发言人伊尔斯·范·奥弗林(Ilse van Oevering)拒绝置评，称政府不能讨论个别的许可证案件。白宫和库珀曼也拒绝了路透社的采访拒绝对此事发表评论。

根据目前的规定，如果其他国家出口到中国的高科技产品中美国制造的零部件到达25%以上，美国政府有权阻止这项交易。据一位知情人士透露，美国商务部对ASML的EUV光刻机进行了审计，但发现它没有达到25%的门槛。由于无法直接阻止出售，特朗普政府迫使荷兰考虑安全问题。据报道，光刻设备属于一项名为《瓦森纳协定》又称瓦森纳安排的机制（全称为《关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳协定》 ，The Wassenaar Arrangement on Export Controls for Conventional Arms and Dual-Use Good and Technologies)的国际协议的范围，该协议协调对具有商业和军事用途的所谓“两用”技术的出口限制。两名消息人士对路透表示，美国国防部官员与荷兰官员多次会面，讨论此次军售的安全风险。两名消息人士称，会议分别于2018年底和2019年1月在荷兰驻华盛顿大使馆举行。三位消息人士称，美国国务卿彭培奥在去年6月访问荷兰期间，曾敦促荷兰总理吕特阻止这笔交易，尽管当时吕特出于商业上的压力，曾要求ASML继续进行交易。

马克吕特（左）和特朗普（右）

路透社称目前尚不清楚，去年荷兰总理吕特访问白宫期间，美国总统川普是否在白宫会晤期间向吕特提到了光刻机的交易。但是根据荷兰外交部公布的许可证公共数据库显示，阿斯麦的出口许可证于2019年6月30日到期未使用，在接下来的八周内没有颁发新的许可证，而在这八周时间内，通常会考虑续签申请。荷兰外交部发言人格里特森(Irene Gerritsen)说，荷兰政府拥有授予两用技术许可证的主权裁量权，不会就具体情况置评。

据报道此次销售的EUV光刻机是芯片光刻工艺的核心设备，设计系统集成、精密光学、精密运动等多项先进技术，具备极高的技术含量，可以制造更快、更强大的微处理器、内存芯片和其他先进元件，对消费类电子产品和军事应用都至关重要。目前只有少数公司有能力生产最复杂的芯片，包括美国的英特尔公司、韩国的三星电子和台湾的台积电。路透社称，中国已经把在芯片制造技术方面赶上这些公司作为国家的一项重要优先任务，并为此投入了数百亿美元的资金。