10月21日消息，近日全球光刻机巨头ASML（阿斯麦）发布了2021年三季度财报。其中，三季度净销售额52.41亿欧元，低于市场预期的52.96亿欧元，上年同期为39.58亿欧元，同比增长32.4%；净利润为17.40亿欧元，上年同期为10.62亿欧元，同比增长63.8%。

三季度新增订单金额61.79亿欧元，较上一季度的新增订单金额82.71亿欧元环比减少25.3%。值得一提的是，在这61.79亿欧元的新增订单中，EUV光刻机的订单金额占据了近一半，达到了29亿欧元。

ASML也表示，三季度，EUV光刻机系统的出货量和收入创下历史新高。目前，ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE:3600D，其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率。

另外，在DUV（深紫外）光刻机方面，ASML已经累计完成出货1000台ArF（氟化氩浸没式光刻系统），这距离第一台浸没式光刻机（XT:1700Fi）出货过去了15年。

展望未来，ASML预计2021年有望实现约35%的增长，第四季度净销售额在49-52亿欧元区间，毛利率为51%-52%；研发成本约为6.7亿欧元，销售和管理成本约为1.95亿欧元。

编辑：芯智讯-林子