据国产涂胶显影设备厂商上海众鸿官方微信公众号消息，近日，上海众鸿成功中标国内某滤波器龙头企业数台涂胶显影设备。

据悉，该客户批量采购设备是因为其位于合肥的一期滤波器工厂正式投产，上海众鸿ZHT-200的交付将助力其产能大幅提升。此次中标的大批量订单充分体现了客户对众鸿自研设备的认可与信心。

据介绍，ZHT-200是众鸿首款自研涂胶显影设备，广泛应用于常规硅基半导体芯片制造领域及化合物半导体的碳化硅、砷化镓、滤波器等领域，目前已实现量产。产品拥有多项优势：小尺寸，单位面积产出高；支持Inline光刻机，支持KRF工艺；支持复合板，支持循环水控温冷板；支持工艺参数数字化收集；支持远程监控系统；支持天车自动化传送系统；支持EAP系统。

上海众鸿表示，随着公司前期自研设备DEMO和正式订单的不断验收，市场与主流客户对众鸿设备的认可度也越来越高。2023年度截止目前已获数个客户的回购订单及新客户的首次正式订单。

资料显示，上海众鸿电子科技有限公司于2011年1月成立。自成立以来，众鸿始终秉承科研是第一生产力的宗旨，以技术和创新为导向，专注于半导体制造领域，核心产品和服务覆盖半导体芯片设备研发、制造、技术升级、销售及售后服务。

编辑：芯智讯-林子