当地时间2025年2月25日， 美光科技（Micron Technology）宣布，它已经成为业内第一家向生态系统合作伙伴和精选客户运送其利用极紫外光（EUV）光刻技术的1γ （1-gamma）制程的第六代 （10nm 级） DRAM 节点的 DDR5 内存样品的公司，该内存专为下一代 CPU 而设计。
美光表示，这一 1γ DRAM 里程碑建立在美光之前的 1α （1-alpha） 和 1β （1-beta） DRAM 节点领导地位之上，旨在提供创新，为未来的计算平台提供动力，从云到工业和消费类应用，再到 AI PC、智能手机和汽车等边缘 AI 设备。
美光1γ DRAM是该公司首次采用EUV光刻的制程，其他领先的DRAM制造商数年前就已导入EUV。虽然美光较晚采用，但1γ制程相较于现有产品线具备显著优势。
虽然美光并未透露其1γ制程使用多少层EUV光刻，但推测主要是在关键层导入EUV光刻技术，这些层若使用传统的多重曝光（multi-patterning）技术，将延长生产周期并影响良率。美光表示，1γ制程采用EUV搭配深紫外光（DUV）多重曝光技术，并引入新一代高介电常数金属闸极（High-K Metal Gate）与全新后段制程（Back-End-of-Line，简称BEOL）电路。
据介绍，美光 1γ DRAM 节点将首先用于其 16Gb DDR5 DRAM，并随着时间的推移集成到美光的内存产品组合中，以满足行业对高性能、高能效 AI 内存解决方案的加速需求。
具体来说，基于1γ制程的16Gb DDR5 DRAM在业界标准电压1.1V下运行时，数据传输速率达9200 MT/s。与前代1β制程的16Gb DDR5內存相比，新款內存速度提升高达 15%，耗电量降低20%，位密度提升30%，当新芯片的良率达到1β制程的16Gb DRAM的水准时，制造成本预计将下降。
目前美光1γ DRAM主要在日本晶圆厂生产，该厂于2024年安装美光首套EUV设备。随着1γ內存产量提升，美光计划在日本与台湾晶圆厂增加更多EUV设备。
美光1γ DRAM优势
随着 AI 在数据中心和边缘的引入，对内存的需求从未如此之大。美光向 1γ DRAM 节点的过渡有助于解决客户希望解决的关键挑战：
增强的性能 ： 基于 Micron 1γ 的 DRAM 提供了改进的性能，将支持从数据中心到边缘设备的各种内存产品的计算扩展，以满足未来 AI 工作负载的需求。
节能 ：美光的 1γ 节点采用下一代高 K 金属栅极 CMOS 技术，结合设计优化，可将功耗降低 20% 以上，从而改善散热曲线。
改进的比特密度输出：美光的 1γ 节点利用 EUV 光刻、设计优化和工艺创新，与上一代产品相比，每片晶圆的比特数产量提高了 30% 以上以及有效扩展内存供应的能力。
美光执行副总裁兼首席技术与产品官 Scott DeBoer 表示：“美光在开发专有 DRAM 技术方面的专业知识，结合我们对 EUV 光刻技术的战略使用，产生了强大的基于 1γ 的尖端内存产品组合，有望推动 AI 生态系统向前发展。1γ DRAM 节点增强的位密度输出凸显了美光的制造实力和效率，使我们能够扩大内存供应以满足不断增长的行业需求。”
美光经过多代验证的 DRAM 技术和制造策略，使这种优化的 1γ 节点的创建成为可能。1γ DRAM 节点创新得到了 CMOS 进步的支持，包括下一代高 K 金属栅技术，该技术提高了晶体管性能以获得更好的速度能力、设计优化和特征尺寸缩小，所有这些都释放了节能和性能扩展的优势。此外，通过最佳地结合领先的 EUV 光刻技术，以及先进的高深宽比刻蚀技术和行业领先的设计创新，1γ 节点提供了行业领先的位密度优势。通过开发用于全球工厂制造的 1γ 节点，美光正在帮助确保该行业获得更好的技术和供应弹性。
美光科技执行副总裁兼首席商务官 Sumit Sadana 说：“美光在推出世界上最先进的内存技术方面再次引领行业。美光的 1γ DRAM 节点凭借其无与伦比的能效和非凡性能是一项突破性的成就。美光 1γ DRAM 产品将通过为从数据中心到边缘的所有细分市场提供可扩展的内存解决方案，彻底改变 AI 生态系统，使我们的客户能够在快速发展的行业需求中保持领先地位。”
将产品从云转变为边缘
美光表示，作为未来产品的基础，1γ 节点将集成到 Micron 内存产品组合中：
数据中心： 面向数据中心的基于 1γ 的 DDR5 内存解决方案，可将性能提高多达 15%，提高能效，并有助于实现持续的服务器性能扩展，使数据中心能够在未来的机架级电源和散热设计中进行优化。
边缘 AI：1γ 低功耗 DRAM 解决方案提供更高的节能效果和更高的带宽，从而增强边缘 AI 解决方案的用户体验。
AI PC：1γ DDR5 SODIMM 提高性能并将功耗降低 20%，4延长电池寿命并改善笔记本电脑的整体用户体验。
移动：1γ LPDDR5X 将在边缘实现卓越的 AI 体验，并继续保持美光在移动技术领域的领先地位。
汽车：基于 1Γ 的 LPDDR5X 内存扩展了容量、使用寿命和性能，同时实现了高达 9600MT/s 的速度。
我们很高兴看到美光在其 1γ DRAM 节点方面取得进展，我们已经开始对美光 1γ DDR5 内存进行验证工作，”AMD 服务器平台解决方案工程公司副总裁 Amit Goel 说：“随着我们继续通过面向数据中心的下一代 AMD EPYC 产品以及我们产品组合中的消费类处理器来推进计算生态系统，我们的密切合作至关重要。”
“美光的 1γ 节点进步为英特尔服务器和 AI PC 带来了稳定的功率和密度改进。我们很高兴看到美光在DRAM技术上的持续创新，并期待根据这些容量提高服务器系统性能和PC电池寿命”，英特尔公司内存与IO技术副总裁兼总经理Dimitrios Ziakas博士说：“英特尔正在努力通过其严格的服务器验证流程，为美光的 1γ DDR5 内存样品提供服务，为我们的客户提供具有最高质量和一流体验的服务器系统。”
编辑：芯智讯-浪客剑
