日期 2021 年 11 月 6 日

传ASML DUV光刻机交付受阻,中芯国际后续扩产计划将受影响

2021年11月6日消息,据台湾经济日报报道,大陆晶圆代工龙头大厂中芯国际虽然计划在深圳、上海等地进行扩产,但是今年3月中芯国际与荷兰光刻机大厂ASML(艾司摩尔)签约购买用于成熟制程所需的深紫外光(DUV)光刻机设备订单至今仍没有下文,随着最后期限的临近,恐怕这笔订单将要跳票,使得中芯国际计划2023年陆续开出的新产能也变得岌岌可危。