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光刻机子系统之——对准标记及对准系统

光刻机的对准系统(Alignment System)负责把掩膜上的图形和晶圆上已经有的图形对准,以保证曝光后图形之间的准确套刻。其主要过程包括掩膜的预对准和定位、晶圆的预对准、掩膜工件台与晶圆工作台之间的对准、掩膜与晶圆的对准四个步骤。
ASML二季度来自中国大陆销售额占比升至24%,浸没式DUV销量环比增长56%-芯智讯

2023年12月中国从荷兰进口光刻机金额同比暴涨1000%!

1月22日消息,据彭博社援引中国海关数据汇总显示,2023年,中国大陆用于芯片制造的半导体设备的进口总额达到了接近400亿美元,同比增长了14%,这也是自2015年有记录以来的第二大进口额,反应了中国积极发展半导体制造业的努力。
ASML 準備更換舵手,提名 Christophe Fouquet 成新總裁兼執行長

ASML CEO即将退休,现任COO获提名接任

12月1日消息,根据ASML最新公告显示,荷兰光刻机大厂ASML首席执行官Peter Wennink和首席技术官Martin van den Brink都将在2024年退休,因此提名Christophe Fouquet成为新的总裁兼首席执行官,目前还要等待股东的批准,预计会在2024年4月24日举行的下一次ASML股东大会,在股东们通过提案后后正式接任。
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俄罗斯自研光刻机目标:2024年量产350nm,2026年量产65nm!

11月4日消息,根据俄罗斯媒体报道指出,俄罗斯本身正在研发生产芯片的光刻机。俄罗斯工业和贸易部副部长Vasily Shpak在接受媒体采访时指出,2024年将开始生产350nm光刻机,2026年启动用于生产130nm制程芯片的光刻机。光刻机的生产将在莫斯科、泽列诺格勒、圣彼得堡和新西伯利亚的现有工厂进行。