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硬件|EUV光刻的“致命弱点”

EUV光刻的“致命弱点”

几家供应商正在推出下一代检测系统和软件,以定位极紫外(EUV)光刻机工艺引起的芯片缺陷问题。每种缺陷检测技术都涉及到各种权衡,但由于EUV引起的随机缺陷最终会影响芯片的性能,在晶圆厂里使用一项或多项检测技术是非常必要的。

这款30年前问世的光刻机至今仍在使用,助力ASML登上光刻机龙头宝座

5月17日消息,不论是极紫外(EUV)光刻机或是深紫外( DUV)光刻机,都是当前芯片制造不可或缺的关键设备。而在光刻机领域,目前荷兰的艾司摩尔(ASML) 可谓是龙头老大。而在三十多年前,当时还落后竞争对手的ASML,如何能成为今天光刻机市场上的霸主?其关键就在三十年前推出的PAS 5500身上。

美国将全面禁售DUV/EUV设备及EDA软件?但这并不能阻止中国技术进步!

据外媒报道,在美国当地时间4月12日下午,白宫召开半导体产业链CEO视频峰会上,光刻机巨头荷兰ASML公司首席执行官温宁克(Peter Wennink)表示,对华出口管制不仅不能停止其技术进步,而且还会损害美国经济。此前,华盛顿和北京之间的贸易紧张局势导致其先进的半导体设备在中国的销售受到限制。

ASML:摩尔定律没有减速或失效,还将持续10年或更久

众所周知,荷兰艾司摩尔(ASML)光刻机一直是半导体制造的关键设备,尤其独家生产的极紫外光刻机(EUV)更是不可或缺,也是协助台积电、三星、英特尔能往更先进制程发展的重要设备,美国限制中国大陆无法取得EUV光刻机,压制中国大陆半导体发展。
2020年全球Top15半导体设备厂商的销售额排名

2020年全球半导体设备厂商TOP15:美日企业占比超6成,中国仅一家上榜!

3月25日消息,根据日本媒体电子设备产业新闻报道,美国半导体产业调查公司VLSI Research公布了2020年全球TOP15半导体设备厂商销售额排行榜。根据该榜单显示,2020年全球半导体设备市场规模同比增长了18%,达到924亿美元(约人民币6048.6亿元),这也反应了在新冠疫情影响下,全球的数字化进程发展迅速,推动了对于半导体芯片的旺盛需求,进而刺激了半导体设备市场的强劲增长。