2020年全球EUV光刻专利申请量：蔡司第一，三星超过ASML
在半导体工艺进入7nm之后，EUV光刻机就成为兵家必备大杀器了，全球也只有ASML公司能生产，单价达到10亿人民币一台。不过在今年的EUV专利申请量上，蔡司排名第一，三星也超过了ASML。
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ASML在进博会上展示DUV光刻机，可生产7nm及以上制程芯片
第三届进博会于11月5日至10日在国家会展中心（上海）举办，这次光刻机巨头荷兰的ASML也来参展了，并且还在自己的展台上展示了其最新的DUV光刻机。
为研发高端光刻胶，晶瑞股份宣布斥资7500万元购买SK海力士的ASML光刻机
9月28日晚间，晶瑞股份发布公告称，将开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目。为此，晶瑞股份拟通过Singtest Technology PTE. LTD.进口韩国SK Hynix的ASML光刻机设备，总价款为1102.5万美元（折合7508万人民币）。受此消息影响，晶瑞股份今天也成功涨停，上涨19.99%，报收于42.86元。
90%零件需全球采购，制造一台光刻机究竟有多困难？
近段时间有关芯片以及光刻机的话题非常热门，我们今天也来探讨一下光刻机的话题。一台能生产先进工艺芯片的光刻机后面究竟需要多少供应链去支持？制造一台光刻机需要多少个国家的公司参与其中？看看制造一台光刻机究竟有多困难。
华为将携手中科院攻克光刻机技术？ASML华裔工程师：基础器件没跟上，谈造EUV光刻机就是天方夜谭！
在中科院表态支持针对“卡脖子”问题进行攻关之后，9月17日下午，华为技术有限公司CEO任正非一行来访中国科学院，与中科院的专家学者们举行了座谈交流会，就基础研究及关键技术发展进行了探讨交流。
ASML全球副总裁沈波：未来将持续投入中国光刻机市场
“ASML在中国已有700多台光刻机的装机，几乎所有主要芯片生产厂商都有我们的服务。我们在中国大陆12个城市有办事处或分支机构，2020年中国区有超过1100人的团队，为行业新增和培育了大量光刻技术人才。”阿斯麦（ASML）全球副总裁、中国区总裁沈波说。
ASML设立首个EUV海外培训中心：就近辅导台积电打磨先进工艺
据媒体报道，光刻机巨头ASML（阿斯麦）日前宣布，将在中国台湾的南部科学园区建立自己在海外（荷兰之外）的首个培训中心，旨在就近辅导台积电所领导EUV光刻制造集群。
ASML公司二季度净利润大涨58%，EUV光刻机出货9台
7月15日，全球最大的光刻机厂商荷兰ASML（阿斯麦）公布了第二季度财报。根据财报显示，ASML第二季度营收33.3亿欧元，同比增长29.5%，净利润为7.51亿欧元，同比大涨57.8%。
不用EUV也能实现5nm？中科院研发新型激光光刻技术
近日，据中国微米纳米技术学会报道，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员，与国家纳米科学中心刘前研究员合作，在《纳米快报》（Nano Letters）上发表了题为《超分辨率激光光刻技术制备 5nm 间隙电极和阵列》（5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography）的研究论文，论文讲述了该团队开发的新型 5 nm 超高精度激光光刻加工方法。
晶方科技：光刻机厂商ASML为公司参与并购的Anteryon公司的最主要客户之一
6月11日消息，晶方科技在互动平台表示，荷兰光刻机制造商ASML为其参与并购的Anteryon公司的最主要客户之一，公司正同Anteryon进行业务技术的整合协同。
ASML推出第一代HMI多光束检测机：速度提升600%，适用于5nm及更先进工艺
在现有的半导体工艺体系下，7nm以下的制程必须要用到EUV光刻机，而作为全球EUV光刻机的唯一供应商，荷兰的ASML公司的EUV光刻机的一直都是供不应求。近日，ASML公又进入到半导体检测设备领域，推出了第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得速度提升600%。
ASML光刻设备技术服务基地签约落户无锡
5月14日，阿斯麦（ASML）与无锡高新区举行了阿斯麦光刻设备技术服务（无锡）基地签约仪式，ASML决定在无锡高新区内升级基地。
