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ASML全球副总裁沈波:未来将持续投入中国光刻机市场

“ASML在中国已有700多台光刻机的装机,几乎所有主要芯片生产厂商都有我们的服务。我们在中国大陆12个城市有办事处或分支机构,2020年中国区有超过1100人的团队,为行业新增和培育了大量光刻技术人才。”阿斯麦(ASML)全球副总裁、中国区总裁沈波说。

不用EUV也能实现5nm?中科院研发新型激光光刻技术

近日,据中国微米纳米技术学会报道,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员,与国家纳米科学中心刘前研究员合作,在《纳米快报》(Nano Letters)上发表了题为《超分辨率激光光刻技术制备 5nm 间隙电极和阵列》(5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography)的研究论文,论文讲述了该团队开发的新型 5 nm 超高精度激光光刻加工方法。

受疫情影响,三星5nm量产要推迟?

4月14日消息,据《韩国商业报》报道,荷兰ASML是全球唯一一家生产EUV光刻机的制造商。由于受到疫情影响,荷兰ASML公司很难将设备出口,这给三星、台积电等在内的全球半导体厂商带来了负面影响。

疫情过后,ASML即可向中芯国际交付EUV光刻机?

近日,ASML出乎意料的对外表示,“受到新冠病毒疫情影响,公司提供给武汉以及其它地区客户的EUV设备出货,因旅游限制而被延迟”。ASML这里提到的EUV设备的武汉客户应该就是中芯国际。因为中芯国际在武汉有一座12英寸晶圆厂,并且此前国内也只有中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机。

面向3nm及以下工艺,ASML新一代EUV光刻机曝光

很快,台积电和三星的5nm工艺即将量产,与此同时,台积电和三星的3nm工艺也在持续的研发当中。而对于5nm及以下工艺来说,都必须依靠EUV(极紫外)光刻机才能实现。而目前全球只有一家厂商能够供应EUV光刻机,那就是荷兰的ASML。

美国出手阻挠!ASML无法交货,中芯国际的EUV光刻机黄了?

当地时间1月6日,路透社援引知情人士的消息报道称,美国特朗普政府正在以各种方式施压荷兰政府,以阻挠全球光刻机巨头ASML(阿斯麦)将其最先进的EUV光刻机给中国企业。正是由于美国政府的施压,最终迫使荷兰政府没有续签ASML的出口许可证,使得ASML无法向中国客户——中芯国际交付EUV光刻机。