12月9日消息,根据日本光刻机大厂尼康(Nikon)官方消息,其将于2024年1月正式发布ArF浸没式光刻机NSR-S636E。尼康称,作为半导体生产过程中关键层的曝光系统,NSR-S636E具有尼康历史上更高的生产效率,并具有高水准的套刻精度和生产速度,可为尖端半导体器件中的 3D 等器件结构多样化的挑战提供解决方案。
12月1日消息,根据ASML最新公告显示,荷兰光刻机大厂ASML首席执行官Peter Wennink和首席技术官Martin van den Brink都将在2024年退休,因此提名Christophe Fouquet成为新的总裁兼首席执行官,目前还要等待股东的批准,预计会在2024年4月24日举行的下一次ASML股东大会,在股东们通过提案后后正式接任。