9月18日消息,据日本媒体报道,日本材料企业JSR(日本合成橡胶)于9月17日发布消息称,将收购位于美国俄勒冈州的光刻胶企业Inpria Corporation。
据悉,JSR曾在2017年获得了inpria 21%的股份,此次JSR将斥资450亿日元(约合人民币24.46亿元)收购Inpria公司剩余的79%的股份,收购工作将于10月底结束。届时,Inpria公司将成为JSR的全资子公司。
据悉,Inpria已涉足开发和制造支持尖端半导体微细加工采用的EUV技术的感光材料(光刻胶),并开发出了比现有的有机物基础EUV 光刻胶光吸收率更高的无机物基础光刻胶,因此在业界备受关注。三星电子、SK 海力士、TSMC等企业均对Inpria进行过投资。
目前,在全球半导体光刻胶领域,主要被JSR、东京应化(TOK)、罗门哈斯、日本信越和富士材料等头部厂商所垄断。其中,在高端半导体光刻胶市场上,全球的 EUV 和 ArF光刻胶主要是 JSR、陶氏和信越化学等供应商,占有份额最大的是 JSR,达到了28%。
通过此次收购,JSR在EUV光刻胶市场上的影响力将进一步加强。随着JSR将产品领域从有机物光刻胶扩大到无机物光刻胶,可以应对新一代EUV 光刻胶市场。
JSR表示:“,JSR联手inpria将稳固和加强了作为 业界最尖端曝光制程领域的领导者和合作伙伴的地位。收购决定与 JSR对半导体产业的长期战略和经营方针 一致。”
编辑:芯智讯-林子
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