10月18日晚间，半导体设备厂商至纯科技发布公告，旗下控股子公司至微半导体(上海)有限公司(以下简称至微科技)拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。公告显示，此次引入的战略投资者包括远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、上海装备材料基金等，合计向至微科技增资4.2亿元。

此次交易前，至微科技注册资本为4.55亿元，依据增资前至微科技25亿元的估值，对应5.4945元/注册资本。本次增资的4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余3.44亿元计入资本公积。

增资的同时，至纯科技将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后7.95%的股权以2.32亿元转让给远致星火，其中4222.40万元计入至微科技注册资本，1.90亿元计入资本公积。

从交易完成前，至纯科技持有至微科技的股份比例为99.34%；交易完成后，至微科技注册资本增加至5.31亿元，至纯科技持有至微科技的股份比例摊薄至77.11%。

至纯科技称，至微科技是承载至纯科技重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体。至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。

业绩方面来看，至纯科技正处于上升通道。今年上半年，至纯科技实现营收9.2亿元，同比增长76.51%；净利润1.5亿元，同比增长395.51%；基本每股收益0.48元。

至纯科技表示，集成电路产业景气带来高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加，上半年公司整体业务新增订单达到17.2亿元，新增订单中，整个半导体板块新增订单14.2亿元。

另外，值得关注的是，入股至微科技是本月大基金的首次入股动向。上周五，两家芯片公司公告了大基金的减持计划。

兆易创新10月15日晚间公告，持股5.27%的股东大基金拟在15个交易日后的3个月内，采取集中竞价交易方式减持不超过1%公司股份，即665.732万股；晶方科技同日公告称大基金拟减持不超1%股份。

不过，总的来看，实施减持的主要是大基金一期，大基金二期则是继续跟进布局。

公开资料显示，今年内，大基金二期投资覆盖制造封测、IC设计、设备材料等环节，目前投向制造较多，如入股中芯国际、中芯南方等公司，设备材料企业则有中微公司、南大光电等。