1月4日消息，近一年多来，全球半导体产能紧张，台积电等晶圆制造厂商也在积极扩大产能，作为半导体制造的关键设备——光刻机也是十分抢手，交货周期也一直是比较长。然而在这个关键时刻，全球光刻机龙头ASML的工厂突发火灾，目前损失还在评估中。

据路透社报道，ASML于当地时间周一对外表示，它位于德国柏林的一家工厂发生了火灾。ASML表示，没有人受伤，现在评估对其运营的影响还为时过早。另据了解，ASML柏林厂区约32000平方米，此次约有200平方米厂区受火灾影响。

目前ASML已通过其官网公布了柏林工厂发生火灾的消息，从官网的介绍来看，发生火灾的工厂，是ASML的一座零部件工厂，主要生产晶圆台、光罩吸盘和反射镜模块等。

ASML公司在给媒体发布的声明中指出，评估损失需要几天时间，现在就提出是否影响今年业绩或者就损害索赔等问题还为时尚早。

起火的公司前身是Berliner Glas，ASML公司于2020年才收购了这家公司，后者主要为ASML光刻机制造光学系统，这是光刻机的三大核心部件之一。

2021年10月底，ASML发布了Q3财报，净销售额52亿欧元（约合386亿元），毛利率51.7%，净利润17亿欧元（约合126亿元）。官方预计四季度销售额49亿到52亿欧元，毛利率在51%到52%。

ASML称，三季度，EUV光刻机系统的订单量达到了29亿欧元，且当季的出货量和收入创下历史新高。目前，ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE:3600D，其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率。DUV（深紫外）光刻机方面，完成出货1000台ArF（氟化氩浸没式光刻系统），这距离第一台浸没式光刻机（XT:1700Fi）出货过去了15年。

编辑：芯智讯-林子