4月26日消息，根据日本半导体制造设备协会（SEAJ）公布的统计数据显示，今年3月日本半导体制造设备销售额达3,352.95亿日元（约合人民币173.8亿元），同比增长6.5%，环比增长14%，终结了此前连续5个月的环比下滑，创1986年开始进行统计以来史上第5高纪录，2022 年度（2022年4月-2023年3月）销售额创下历史新高。

日本半导体设备销售额在2022年7-12月期间，连续6个月突破3,000亿日元，2022年9月销售额3,809亿日元，创下单月历史新高纪录，其次依次为2022年8月的3,473亿日元、2022年10月的3,470亿日元和2022年11月的3,354亿日元。

累计2022年度（2022年4月-2023年3月）期间，日本半导体设备销售额年增14%至38,657.36亿日元，年销售额创下历史新高纪录。

今年一季度（2023年1-3月）日本半导体设备销售额较去年同期增长2%至9,292.38亿日元。

目前日本半导体设备全球市占率（以销售额换算）达30%，仅次于美国位居全球第二大。

近期，日本半导体设备大厂的东京电子（Tokyo Electron）和日立高科（Hitachi High-Tech）都在积极的扩产。

3月20日，东京电子宣布，为了应对半导体市场需求扩大，旗下制造子公司Tokyo Electron Technology Solutions（TETS）将在日本岩手县奥州市兴建新厂房、增产半导体制造设备。该座新厂房暂称为“东北生产/物流中心”，兴建费用约220亿日元，为2层楼建筑，其中2楼部分将生产薄膜沉积设备等产品，1楼为物流中心，预计在2024年春天动工，2025年秋天完工后进行生产。

据日本媒体指出，上述新厂将成为东京电子位于奥州市的第7号厂房，导入生产后、东京电子于岩手县的半导体设备产能将扩增至目前的1.5倍，且今后藉由生产优化等措施、目标将产能最高扩增至2倍。

TETS社长佐佐木贞夫指出，于2020年启用生产的奥州市第6号厂房“处于满载生产状态”。

另一家日本半导体制造设备大厂日立高科4月18日宣布，随着人工智能（AI）、自动驾驶等技术普及，带动半导体相关市场今后将呈现快速增长，因此为了应对持续扩大的芯片制造设备需求，将投资约240亿日元在日本山口县下松市兴建新厂房，增产半导体制造设备，该座新厂房预计2025年度开始进行生产（预定2025年4月完工）。

日立高科指出，上述新厂房将生产蚀刻设备，藉由产线数位化、自动化，可将蚀刻设备产能扩增至目前的2倍。

编辑：芯智讯-林子