近日，半导体设备制造商上海众鸿电子科技有限公司（以下简称“上海众鸿”）完成超7000万元A轮融资，由毅达资本、合肥产投旗下创新投及个人投资者联合投资。融资资金将主要用于产品研发、推进设备量产、业务扩展及市场营销等方面。
近年来，由于下游需求旺盛以及光刻用量的增大，涂胶显影行业处于高速上升期，增量市场不断上涨。VLSl数据显示，全球前道涂胶显影设备销售额由2013年的14.07亿美元增长至2018年的 23.26 亿美元，年均复合增长率达 10.58%，预计2023年将达到24.76 亿美元；全球前道单片式清洗设备销售额由2013年的16.31亿美元增长至2018年的22.69亿美元，年均复合增长率达6.83%，预计2023年将达到23.14亿美元。
上海众鸿成立于2011年，是一家半导体制造设备研发商，专注于涂胶显影设备的研发攻关。团队侧，公司目前员工总数为89人，其中研发人员为22人（海外专家8人），占比约25%。创始人金浩天从事半导体集成电路设备行业迄今已15年，带领团队为韩国、日本、新加坡及中国台湾地区半导体制造客户提供设备技术服务，并将海外先进技术导入应用于实体技术升级。
从发展脉络来看，上海众鸿在2018年成立自研攻关小组，基于此前15年的产业经验积累，开启自主研发涂胶显影设备之路。到了今天，其自研设备已经成功通过客户验证，并拿到客户正式订单近20台。
上海众鸿主营产品包括自研涂胶显影设备、金属剥离设备、单片旋转式清洗设备等，业务覆盖半导体核心设备的多个领域，为客户提供多样化的解决方案和服务。
团队告诉36氪，为了满足不同客户的前道晶圆制造工艺要求，众鸿分别在多样性、功能性、部件选型等方面进行了差异化布局。
首先，功能性方面，众鸿的自研设备对不同尺寸的晶圆做到了友好兼容，如４寸和６寸、６寸和８寸、8寸和12寸兼容；其次，旗下产品的功能对客户不同的基底材质、不同的产品能做到很好的适配。以设备最关键的机械手臂为例，众鸿就自行开发、制造，并不断升级改良，同时也申请了不少的专利，可满足客户不同工艺需求的晶圆传送要求。
具体到产品矩阵，上海众鸿现已推出涂胶显影设备ZHT-200、涂胶显影设备ZHT-150、全自动金属剥离机（Metal lift off ) ZHL-200、旋转式清洗设备ZHS-200等。性能侧，以ZHT-200为例，通过涂胶显影单元、烘烤单元等配合，能够将芯片制程中需要的精细化图形在基底材料上显现出来，同时具有灵活组合的优势，可以满足客户不同工艺的需求；同时支持跟光刻机Inline、KRF工艺匹配，可提供高精度热板、高精度机台环境控制、高精度化学品控温系统，支持客户的OHT、EAP、FDC等系统；可完美对应8寸（含8寸以下）的半导体前道制程。ZHT-150产品具备高稳定性、高集成度、占地面积小、性能优良等特性，对LED、功率器件等小尺寸产品的客户非常适配。
△众鸿自研涂胶显影设备ZHT-200，已实现量产交付
相关负责人透露，眼下，团队正在研发用于先进封装等领域的12寸设备，以及先进制程进程中所需要的专用机型。截至目前，上海众鸿拥有各项专利80余项，被评为“上海市高新技术企业”、“上海市专精特新企业”、“临港新片区重点企业”等。
中南创投基金于2020年8月和2021年10月分别领投了上海众鸿的PreA轮和PreA 轮融资。
关于上海众鸿
上海众鸿电子科技有限公司于2011年1月成立。众鸿自成立以来，秉承科研是第一生产力的宗旨，以技术和创新为导向，专注于半导体制造领域，核心产品和服务覆盖半导体芯片设备研发、制造、技术升级、销售及售后服务。
目前众鸿已完成了光刻工艺前后道【涂胶、显影】国产化设备（4-8寸）的自研开发并成功销售，12寸涂胶显影设备预计在2022年完成研发并投入客户测试，未来还计划引入更多氧化、清洗、去胶工艺领域的先进技术，努力打破行业技术壁垒，致力于为客户提供更多优质的“中国智造”半导体设备。
