6月13日消息，弥费科技近期宣布已在两家12吋晶圆厂完成自动物料搬运系统（AMHS）的验收，成为国内首家在晶圆厂领域打破海外长期垄断的国产AMHS供应商。

在晶圆厂整厂AMHS系统级验收上，弥费科技已累计完成一家8吋碳化硅晶圆厂，一家12吋IDM晶圆制造厂和一家12吋标准代工厂国产化验证平台，并打通了验证平台和量产代工厂之间的衔接，实现了该验证平台上的所有国产化晶圆生产设备和量产线之间的无缝切换，既完成了国产化率和供应链安全的目标，也帮客户实现了整厂晶圆制造效率的显著提升。

不同应用领域对AMHS系统的性能要求不同。相比于面板制造、硅片厂、封装厂等应用场景，晶圆制造厂从制造工序、搬运量、调度频率、天车设备性能要求、软件调度要求和整体AMHS系统可靠性、稳定性等要求上都相对最高，所以这一应用领域长期被两家海外公司垄断，全球95%以上的晶圆厂都使用海外供应商的产品。在晶圆厂领域的交付并验收成功，充分证明了弥费科技AMHS系统的高品质和可靠性，使我国AMHS产品在国际市场的竞争力得到了显著提升。

弥费科技一直深耕在自动化搬运系统中最难的应用领域—晶圆制造厂。自2018年开始，针对晶圆厂的自动化需求，逐步开发完成了31类硬件产品、2类软件产品，涵盖软件产品、传输产品、存储产品、净化产品和零部件。与同类型的供应商相比，产品线更齐全并且技术完全自主可控，具备技术平台持续升级迭代、产品混合兼容部署的能力。

作为自动物料搬运系统（AMHS）国产化的先锋，弥费科技成功攻克了在AMHS系统中最高难度的晶圆厂交付及验收。开启了国产AMHS系统在晶圆厂实际量产过程中的系统数据积累，通过数据分析和优化，进一步提升了系统的稳定性和可靠性。此外，公司还不断打磨优化自身产品的供应链，并搭建了零部件的可靠性验证到系统级的可靠性验证测试平台，巩固和扩大在成本控制及项目交付方面的竞争优势。这一里程碑式的成就，预示着未来将逐步消除晶圆厂对国产自动物料搬运系统（AMHS）的疑虑和不信任。这不仅打破了当前国产AMHS供应商仅能获得demo line的恶性循环，也预示着烧钱时代的终结。这一进展意味着国产AMHS将逐渐获得更广泛的市场认可，为我国半导体产业的发展注入新的活力。

公司还充分发挥半导体晶圆厂中国AMHS企业标杆作用，引领行业标准的制定。由公司牵头制定的AMHS行业首个团体标准——《集成电路晶圆厂用天车传送系统应用要求》即将正式发布。立足于半导体晶圆厂对自主可控天车系统应用的迫切需求，将自身对天车传送系统技术领域积累的应用成果与产业链、高等学府研究所及行业协会紧密融合。凝聚了5家协会及高校研究所、3家半导体晶圆厂、6家产业链上下游设备零部件及软件企业的智慧和力量，共同打造出了高质量的标准化成果。

在上海市集成电路行业协会组织的标准评审会上，该标准获得行业专家高度认可。作为国内首个天车传送系统标准，对于该系统的研发与应用具有重要的指导意义，有助于建立和完善中国AMHS行业自律机制，推进行业健康可持续发展，提升中国企业在国际市场的竞争力。

弥费科技始终秉承技术创新驱动的理念，激励了更多企业投入到这一领域的研究与开发中。作为国产AMHS供应商的领头羊，弥费科技将继续发挥自身优势，为实现AMHS领域的全面国产化不懈努力。