​11月1日，国产半导体设备大厂北方华创通过官方微信公众号宣布，近日，其自主研发的高均匀性、大产能，并适用大翘曲硅片的12英寸等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备交付客户。

据介绍，北方华创此次推出的Cygnus系列12英寸等离子体增强化学气相沉积设备，主要用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多种高品质介质薄膜，可满足逻辑、存储和先进封装对钝化层、隔离层、抗反射层、刻蚀停止层等多样化的应用需求。

Cygnus采用多站位多步沉积工艺方式可实现高均匀性、高产能，工艺一致性更好、可靠性更高，不仅满足现有逻辑、存储领域对介质薄膜生长的工艺要求，同时解决了大翘曲硅片的传输和工艺均匀性难题，可适用于2.5D/3D三维器件工艺的介质薄膜生长。

值得注意的是，10月29日晚间，国产半导体设备大厂北方华创发布了2024年第三季度报告。今年前三季度实现营业收入203.53亿元，同比增长39.51%；归属于上市公司股东的净利润44.63亿元，同比大涨54.72%；扣非净利润42.66亿元，同比大涨61.58%；基本每股收益8.4019元。

其中，第三季度实现营业收入80.18亿元，同比增长30.12%；归属于上市公司股东的净利润16.82亿元，同比大涨55.02%；基本每股收益3.17元。

北方华创表示，今年前三季度营收同比增长39.51%，主要原因是公司电子工艺装备收入同比增长 46.96%，使得整体营业收入增加；净利润同比大涨54.72%，其主要原因是公司电子工艺装备收入增长较快，成本费用率下降，使得归属于上市公司股东的净利润增加；扣非净利润大涨61.58%，主要是由于公司电子工艺装备收入增长较快，成本费用率下降，使得归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润增加。

编辑：芯智讯-林子