近日，广东星空科技装备有限公司（以下简称“智慧星空”）宣布完成超8亿元战略融资。本次融资由浦东科创集团及海望资本领投，国投（广东）科技成果转化基金等多家机构跟投。本轮融资后，其注册资本从1.97亿元增至2.94亿元，增幅达49%，创下国内半导体装备领域年度单笔融资新高。其中，浦东科创集团及旗下基金海望资本出资近3亿元。
据企查查显示，智慧星空2021年成立于广州，同年在上海浦东成立了智慧星空（上海）工程技术有限公司，创始人贺荣明是中国光刻机之父。他曾任职上海微电子装备有限公司（又称“SMEE”），带领团队造出国内首台光刻机；完成历史使命后，他再度创业，聚焦半导体器件专用设备、精密制造装备领域。
随着智慧星空技术研发创新，市场快速布局，公司的产业化进程也在加速。去年，智慧星空总部及高端装备产业化基地项目在浦东落地，成为去年浦东10个重大科技产业项目之一。在吸金能力上，集聚腾讯投资、海望资本、浦东科创集团、国投创业、中信金石等知名投资机构，阵容豪华。
中国光刻机之父二次创业
曾造出国内首台光刻机
在创立智慧星空之前，贺荣明在半导体装备行业就颇负盛名。
△贺荣明在上海微电子工作
1985年，贺荣明毕业于同济大学机械工程管理系。80年代的大学生，身上有着天然的责任感和报国情怀，他也不例外。毕业后，他先是进入原上海机电工业管理局，从事国外技术的引进工作 ，后又进入上海电气（集团）总公司（以下简称“上海电气”）。2002年，时任上海电气执行副总裁的他受上级委派，在浦东张江组建上海微电子装备有限公司，开启了在半导体领域的创业之路。
在贺荣明的带领下，一批年轻科技人员集聚到张江，开始了“造中国人自己光刻机”的历程。彼时，国内的半导体行业相对落后，更不必说造光刻机这种高技术壁垒装备，无论是专业人员还是配套的零件供应链，都让贺荣明无从下手。
为实现核心技术自主可控的研发目标，一方面，贺荣明深入研究国际大型复杂工程项目的管理条例，将先进经验与光刻机的研发结合，坚持用产品化、工程化的方式进行研发；另一方面，他重视创新，有效运用创新实践解决多项实际问题。
时间来到2007年，经过贺荣明及其团队多年努力，首台国产光刻机成功曝光；2009年，自主设计、制造和集成的国内首台100纳米投影光刻机样机研制取得成功，使国内高端光刻机的水平有了重大突破，并为国家02科技重大专项高端光刻机项目的持续实施奠定了良好基础；2010年，推出先进封装光刻机，国内市场占有率超80%，同时占领了33%的国际市场。在全世界为数不多的光刻机厂商名单中，第一次出现了中国企业名字：SMEE，并成功进入苹果供应链。
2021年，功勋卓著的他选择进行人生第二次创业，聚焦半导体器件专用设备、精密制造装备领域，创立了智慧星空。
聚焦半导体器件专用设备、精密制造装备领域
产品填补国产高端测试装备空白
作为国产光刻机的核心操盘手，贺荣明的第二次创业仍聚焦于“国之重器”，将在光刻机研发中积累的精密机械、运动控制技术延伸至半导体检测、封装设备。
智慧星空由国内外长期从事大型装备与仪器设计、开发、集成及销售的高层次人才团队发起组建，以精密机械、精密光电、精密运动、精密控制以及复杂软件为核心技术，研制半导体、泛半导体、精密制造、新能源、生物医药等领域的创新装备。
目前，智慧星空的产品主要有光刻设备、自动键合设备、纳米压印设备、量测设备等半导体重要设备，填补国产高端测试装备空白。
△光刻设备
其中，在光刻机设备上，智慧星空自主研发创新型整面曝光机，适用于高端显示、封装基板、先进封装等领域的Micro-LED大面积曝光、封装基板大面积曝光和扇出大芯片曝光。
△纳米压印设备
智慧星空的纳米压印设备具备自动对焦、自动压印能力，可应用于玻璃母模、扇出压印、微透镜阵列、光波导镜片、MEMS等领域。
△自动键合设备
由智慧星空自主研发的iCB系列自动芯片键合设备与iAB系列自动晶圆键合设备，可实现芯片与芯片（晶圆）、晶圆与晶圆键合。iCB系列产品适用于红外传感器、MicroLED、Chiplet；iAB系列产品则适用于晶圆级MEMS封装键合、3D IC键合、CIS封装键合等应用。
△量测设备
在量测设备上，智慧星空自主研发的i3D系列非接触式光学面形检测设备与iFM系列芯片位置测量设备，可实现旋转对称光学元件3D形貌的超精密、高速测量与高精度样品图案位置信息的测量。i3D适用于透明与非透明、光滑与粗糙等多种表面类型的检测分析；iFM可应用于测量重构片位置、光罩图案位置等。
可以预见，随着国内半导体行业进入高速发展期，依托在光刻、键合、量测及纳米压印四大产品线的产品矩阵，智慧星空的业务将迎来快速发展。
投资6.5亿元落子康桥
成为浦东10个重大科技产业项目之一
公开信息显示，智慧星空近日完成融资金额合计超8亿元，其中，领投方浦东科创集团及海望资本联合出资近3亿元，在总投资额中占比近三分之一。
作为上海地方国资平台的浦东科创集团，为何会选择投资位于广州的智慧星空？这需回溯至智慧星空创立前的渊源——早在企业筹备阶段，创始人贺荣明任职上海微电子董事长期间，浦东科创集团就已对其技术背景和行业洞察保持持续关注，并建立了良好的沟通渠道。
在贺荣明创立智慧星空没多久后，企业便面临产能扩张与业务整合的迫切需求，亟需匹配半导体设备生产的专业化工业用地。正当企业为拿地问题焦灼之时，浦东科创集团主动介入，招引企业在浦东落地，并帮助企业申请相关政策。
从土地选址、政策申报到产线建设，浦东科创集团全程参与资源对接，助力智慧星空快速完成上海浦东基地的产能布局。2024年12月，浦东新区重大产业及配套项目开工仪式盛大举行，智慧星空便是十个重大科技产业项目之一。值得一提的是，开工仪式就在智慧星空总部及高端装备产业化基地项目建设工地上举行，足以见得浦东对该项目的重视程度。
△开工仪式现场，贺荣明上台发言
据了解，智慧星空总部及高端装备产业化基地建设项目位于康桥工业区东区H05C-01地块，占地面积约43亩，总投资约6.5亿元，总建筑面积约6.7万平方米。项目主要发展两大类产品——人工智能芯片关键工艺高端装备、生命科学先进科学仪器和研发设备，投产后预计可实现工业产值10亿元。
随着其浦东基地的全面投产，智慧星空将成为推动中国半导体中后道设备自主化的核心力量。
未来，智慧星空这家从上海微电子“基因链”中生长出的创新企业，将以技术为矛、以产业为盾，向着成为全球半导体设备领域的关键参与者加速迈进。
来源：张通社
