光刻机一直被认为是克服半导体制造工艺最小化限制的关键设备，其单价高达2000亿韩元。据报道，三星电子最近发出一份意向书（LOI），向ASML购买价值3万亿韩元的EUV设备，交付分三年进行。业内人士表示，由于三星增加EUV设备订单，三星即将在新晶圆代工生产线上进行大规模投资。

若三星此次订购消息为真，其订购的15台EUV设备占ASML今年总出货量的一半。2012年，三星电子收购ASML 3%的股份，并为光刻机的发展做出了贡献。为了超越晶圆代工龙头台积电，在如此大胆的投资基础上，通过提供技术竞争力来吸引客户是关键之举。

三星电子的客户包括高通、英伟达、IBM和索尼，但台积电已全数包揽苹果iPhone的芯片订单，华为海思也是其不动如山的老客户。台积电计划今年投资110亿美元，|半导体行业圈|其中八成将投资于7nm以下的更先进的制程工艺，虽然台积电使用现有的氟化氩来代替EUV完成了7nm工艺，但在5nm或更先进的工艺领域中，EUV设备是不可或缺的。

数据显示，2019年Q3全球晶圆代工产业台积电以50.5%稳坐第一，而近年努力发展先进制程的三星电子以18.5%的市占率位居第二。然而，很明显，三星决不甘居第二的排名，近期频繁发布其晶圆代工领域的投资计划，可见一斑。

三星电子计划到2030年投资133万亿韩元升级半导体业务。根据三星的计划，133万亿韩元的投资中有73万亿韩元是技术研发费用，60万亿韩元是建设晶圆厂基础设施，预计会创造1.5万个就业机会，而三星的目标是在2030年时不仅保持存储芯片的领先，还要在逻辑芯片成为领导者。