早在2018年底，中微半导体就曾对外透露，其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于台积电的全球首条5nm制程生产线。值得一提的是，中微半导体也是唯一进入台积电7nm制程蚀刻设备的大陆本土设备商。据悉，中微半导体与台积电在28nm制程时便已开始合作，并一直延续到10nm和7nm制程。

近日，中微半导体发布会了在2019年的财报，2019年的收益达到了19.47亿元，同比增长为18.77%，而归母净利润为1.89亿，同比增长为107.51%，年报中表示公司开发的高端刻蚀设备已在各大国际知名厂商的65nm到7nm的芯片生产线上。

另外，财报还显示，中微半导体根据客户的需求已经开发出了5nm刻蚀设备，并且获得了行业领先客户的批量订单。虽然财报并未公开该“领先客户”的具体名字，不过应该可以确认是台积电，因为现在只有他们量产了5nm工艺。

而中微半导体5nm刻蚀机成功获得台积电的批量采购，也反应了中国厂商在半导体设备领域的大突破。

目前中微半导体在客户要求下，正在开发全新的刻蚀机和更先进的大马士革在内的刻蚀工艺，这些技术能够更全面的覆盖5nm以下刻蚀的要求，估计今后的工艺进步速度将更快。

编辑：芯智讯-林子