近日，有传闻称台积电为了推进EUV相关先进制程的产能的扩张，计划在2021年底前购置55台EUV光刻机，而当前全球一半投入使用的EUV光刻机也都在台积电手中。

据了解，一台EUV光刻机售价近8亿元人民币，55台EUV光刻机价值约440亿元。

对于这样的消息，台积电方面回应称，不方便透露消息具体的真实性，这涉及到商业机密。

数据也显示，台积电近几年资本支出逐年创新高，同时台积电在原材料、零配件与后段设备方面，台积电对台湾供应商的采购比例也在逐年增加。

虽然目前台湾厂商无法在主流设备跟欧美半导体设备大厂竞争，但在设备模组代工、次要设备、零配件和原材料方面已有一定竞争力。

台积电预计，今年原材料对台湾供应商采购比率将达46%，较去年可提高2%；零配件以达66%为目标、较去年提高1%；后段设备采购比率约达33%，跟去年持平。

台积电表示，多选择台湾供应链公司，有提升供货弹性、缩短新产品开发时间、减少不必要成本等等好处。

台湾供应链厂商则表示，要打入台积电供应链，需在系统自动化、品质提升投入很多精力，台积电也会严谨考核与辅导改善。

编辑：芯智讯-林子   综合自网络