1月10日消息，据媒体报道，本月3日，光刻机制造商ASML位于德国柏林的一座工厂发生火灾，大火在当晚被扑灭，没有人员在火灾中受伤，ASML随后也宣布将对火灾的影响进行评估，并对外公布相关的消息。根据ASML官网最新公布的信息显示，他们已完成柏林工厂火灾影响的初步评估。

ASML在官网上表示，上周一的火灾，发生在柏林工厂的一栋建筑中，火灾中的烟雾，部分影响到了相邻的建筑，受影响建筑的部分生产已能恢复，其他未受影响的建筑，已全面运营。火灾影响的损坏评估仍在进行中，但ASML方面表示，从目前的情况来看，他们计量和检测产品的产出计划将不会受到影响，因为没有相关的部件在柏林工厂生产。

虽然火灾未影响到计量和检测产品部件的生产，但ASML位于柏林的工厂，生产DUV和EUV光刻机的部分部件，这两类光刻机部分部件的生产，在火灾中都受到了影响。

ASML在官网上表示，DUV光刻机零部件的生产部分中断，生产已经恢复，预计他们将以一种不会影响DUV光刻机产量和收入计划的方式进行补救。

柏林工厂受火灾影响仍未恢复的，是EUV光刻机一个零部件的生产区域，恢复计划仍在进行中，他们已决定采取相关的措施，将对EUV光刻机客户、产出计划及服务的潜在影响降到最低。

ASML在官网上还表示，他们将在1月19日披露去年四季度及全年的业绩，预计会提供火灾影响的最新信息。