5月25日消息，据韩国媒体报道，三星前员工因涉嫌将三星电子旗下子公司SEMES开发的半导体清洗设备技术出售给中国企业，从中获取数百亿韩元的非法利益，SEMES前研究员及同伙一共7人已于近日被拘留，并移交法院起诉。

报道称，被起诉的SEMES公司前员工A某曾以研究员身份在公司任职超过10年，2018年3月起至去年12月，他在盗取SEMES公司技术后，制成14台相同配置的半导体清洗设备，与相关技术一同出售给了中国企业及研究机构，从中获取了710亿韩元（约合人民币3.7亿元）的报酬。

A某在从SEMES公司辞职时，未按照要求交还相关信息，并从合作客户代表处盗取设计图纸、零件清单、药业管道信息、操作标准、软件等几乎全部技术。A某团伙盗取的半导体清洗设备是基于SEMES专利技术制成的主力产品，在芯片制程最初阶段用于清除污物。该设备可用来清洗包括硫酸在内的高温液体，并将传送机械臂从2只增至4只，大大提高了清洗速度。据悉，SEMES公司为研究开发这一技术投资了2188亿韩元，技术泄露或导致该公司每年遭受400亿韩元以上的经济损失。

A某及团伙还以曾在SEMES任职的履历为招募投资方，接受中国企业的投资后在天安成立工厂后制造设备。并同中方企业成立合资法人，转移相关技术，以此为交易条件获得20%的股份。在韩国国家情报院产业机密保护中心收到举报启动调查后，涉案团伙曾毁灭保存于硬盘及手机中的相关证据。

据了解，SEMES是三星电子旗下的一家半导体设备供应商（三星拥90%以上的Semes的股份），同时也是韩国最大的半导体设备制造商。

目前，Semes的产品主要包括半导体前道工序领域的清洗（LOTUS、BLUEICE PRIME）、Phototrack（OMEGA-S、OMEGA-K）、蚀刻（Michelan O3、Michelan C4）设备，还有后道工序的Bonder、Probe、Test Handler等设备。

据SEMES官网介绍，其SUPER CRYSTAL系列清洗机是世界第一台超临界设备，采用无倾斜技术（高萃取/高溶解度），具备高通量和稳定性，能够去除19nm的颗粒。

△Semes的晶圆清洗机

数据显示，Semes在2021年全年的收入为3.12万亿韩元（约人民币162亿元），营业利润为3533亿韩元。这是该公司迄今为止最好的年度业绩。与2020年相比，收入和营业利润也分别增长了41%和24%。其中，晶圆厂设备占Semes的2021年收入的75%，而平板显示设备占比1.7%。2020年，晶圆厂设备占其年收入的61.24%，而平板显示设备占比9.9%。

根据Gartner的数据显示，在2019年的全球半导体清洗设备市场，日本迪恩士（DNS）、日本东京电子（TEL）、韩国SEMES和美国泛林集团（Lam research）分别占据了45.10%、25.30%、14.80%和12.50%的市场。

编辑：芯智讯-浪客剑