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今年2月，全球光刻机龙头厂商ASML发布的2021年度报告，其中提到“2021年经相关报道了解到，因窃密而被判赔偿的XTAL公司的相关公司——东方晶源可能正积极地在中国销售侵犯ASML知识产权的产品”。ASML还表示，已经联系了部分客户要求暂停与XTAL有关联的东方晶源的业务往来，并已告知中国政府相关情况。ASML称，其正在“密切关注这一情况，并准备在适当的时候采取法律行动”。

随后，东方晶源发布声明回应称，“关注到近期在网络媒体上出现大量与我司有关、且与事实不符的报道。对于相关不实信息，我司将保留追究其法律责任的权利。”

近日，彭博社再度对于ASML与XTAL和东方晶源之间的纠葛进行了报道。

ASML起诉XTAL窃取知识产权获胜

据彭博社报道称，XTAL 和东方晶源微电子这两家公司都是由ASML-Brion部门前员工俞宗强（Zongchang Yu）成立于2014年，其中，XTAL主要设计和制造半导体设备并为行业提供咨询服务，而东方晶源专注于集成电路良率管理。

俞宗强于2012年从ASML离职，并于2014年1月在美国圣何塞国际机场附近的办公园区成立了 XTAL。一个月后，他在北京的一个政府资助的工业区创立了东方晶源。

ASML 的律师瑞安（Ryan）在 2018年ASML起诉XTAL侵权的审判中称，XTAL和东方晶源是俞宗强在中国东方集团董事局主席兼首席执行官的韩景远支持下成立的。

据跟踪中国公司所有权的荷兰达特纳公司（Datenna）称，截至2019年，东方集团通过其子公司持有东方晶源50%以上的股份。Datenna表示，自那以后，随着其他投资者的加入，该公司已出售了其所持股份。

Ryan当时也表示， XTAL和东方晶源两家公司是为了同一个目标携手合作，那就是获取ASML的技术，并将其转移到中国公司，当时中国也正在大力发展自己的半导体产业。

虽然ASML最初被告知XTAL的业务不包括计算光刻，但实际上，XTAL的业务不仅包括了计算光刻，而且被认为非法利用ASML-Brion在该领域的相关技术。在XTAL公司成立一年后，就抢下了ASML的多个大客户，包括电子巨头三星公司。

随后，在2016年ASML公司对XTAL公司发起了诉讼。ASML指控其美国子公司的几名前员工窃取了公司机密，包括光学邻近校正（OPC）软件、源代码、公司定价策略和供内部使用的设备手册，并将这些机密传给了XTAL公司。

根据庭审证词，2016年1月，XTAL与韩国三星电子有限公司（Samsung Electronics Co.）签订了一份价值2700万美元的合同，该公司是ASML的长期客户，ASML负责向其提供OPC软件。仅在两年的时间里，XTAL就复制了这一项技术。

ASML律师Ryan指控称，正是因为通过使用ASML被盗数据作为路线图，XTAL才缩短了开发该软件所需的时间。

ASML表示，他们花了1亿美元和10年的时间才开发出了OPC技术。

作为全球最大的光刻机厂商，ASML拥有着极高的市场份额。根据研究公司Gartner的数据显示，截至2021，ASML控制了全球171亿美元光刻设备市场90%以上的份额。同时，ASML也是全球唯一的EUV光刻机供应商。一台EUV光刻机足有一座小房子那么大，售价超过1亿美元。

虽然OPC软件只占ASML营收不到1%，但是如果没有它，光刻机就无法准确地光刻出微小的电路。

据ASML高管、开发该软件部门的总经理Yu Cao证实：“如果你没有进行任何OPC，那么芯片上的图案就完全被破坏了，这将是一个无法工作的芯片。”

宾夕法尼亚州半导体研究公司Information Network总裁罗伯特·卡斯特拉诺（RobertCastellano）表示，中国正在开发自己的光刻机，但要赶上ASML可能需要数年的时间。他说，掌握OPC软件可以缩小一些差距，让中国制造商改进这些机器，并在他们生产的芯片上封装更多晶体管。

Ryan告诉陪审团：“XTAL（有了ASML OPC技术机密）不必走死胡同，因为它知道哪些是死胡同，它知道哪些是通向荣耀、快速发展和金钱的道路。”

2018年11月28日，在美国加州圣克拉拉联邦法院、陪审团做出本案的初步裁决，裁定XTAL盗窃知识产权的行为属于恶意，ASML对XTAL提出的所有五项罪名成立，可依法获得惩罚性赔偿。这五项罪名包括：诱使ASML前雇员违反合同、协助和教唆前雇员违反其诚信义务，以及多次违反加州的计算机数据访问和欺诈法案。

但一个月后，XTAL公司申请破产，造成美国加州圣克拉拉市法院只能延迟判决，直到破产法院的程序结束后，最终于2019年5月3日发出最终判决结果，ASML获得胜诉，XTAL需赔偿ASML 8.45亿美元赔偿（因XTAL已破产因此无法支付），ASML接手了已破产的XTAL的大部分知识产权。

三星当时表示，与XTAL或东方晶源已没有关系。三星指出，ASML此前已经发表声明称，三星没有参与“针对ASML的任何恶意行动”，这家荷兰公司没有失去任何业务，因为在窃秘案被发现时，三星与XTAL之间的合作就已经“受阻”。

两位前员工被判有罪

根据当时的审判证词称，俞宗强在成立XTAL和东方晶源之后，就从ASML 招募了多位从事光学邻近校正 (OPC) 软件的工程师。当时，离职的员工向他们的经理保证，他们离职后将从事与ASML技术无关的工作。

然而，当ASML工程总监Song Lan于 2015 年 8 月辞职后，ASML检查了他的电脑。根据XTAL在破产程序中的申请资料显示，Song Lan同时在为 XTAL和东方晶源这两家公司工作。Song Lan在离开ASML前，已将ASML的相关文件下载到硬盘中，随后将其带到了新雇主的手中。

据文件显示，成为XTAL工程副总裁的Song Lan获取的数据包括ASML OPC软件的源代码。Song Lan在作证辩称，他在备份自己的ASML电子邮件以保存个人数据时，无意中使用了该代码。代码在一封电子邮件的附件中，Song Lan说他从未打开过。

△Source: Santa Clara County District Attorney\'s Office

ASML的律师表示，他们无法了解Song Lan的全部活动。根据文件，在ASML告知XTAL其起诉意图后，Song Lan在硬盘上使用了一个删除程序，擦除了多达61GB的数据。Song Lan没有在证词中提及删除，因为XTAL的律师反对就此提出问题。

根据ASML专家的证词，另一名ASML前员工Wanyu Li 在离职前将 ASML 的 OPC 软件的全部 200 万行源代码下载到硬盘上，然后加入了XTAL并担任IT 主管。

调查人员发现，有证据表明，Wanyu Li 在加入XTAL之后，立即在XTAL使用了该软件，并将部分代码上传到GitHub服务器，XTAL和东方晶源的大约30名工程师可以访问该软件。

根据庭审记录，法官告知陪审团，Wanyu Li承认销毁了证据，他将硬盘摔成碎片，然后在庭审前夕将其交给了XTAL的律师。

XTAL的律师唐纳德·普特曼（Donald Putman）承认，Wanyu Li取了源代码并损坏了硬盘。普特曼在法庭上表示：“Wanyu Li的所作所为没有粉饰”，“你不能这么做，这是错误的，这是非法的，不合常规的。”

但是，普特曼表示，XTAL没有人知道Wanyu Li拥有ASML被盗的OPC软件代码。“XTAL从未真正使用过它”，他说，“XTAL从来没（利用该软件代码）赚过一分钱。”

根据法院文件显示，ASML于2019年4月向美国圣克拉拉县地方检察官办公室提起了针对其前员工俞宗强、Song Lan、Wanyu Li的刑事指控，指控他们窃取商业机密。

△Song Lan, WanyuLi and Zongchang Yu were charged in California with stealing trade secrets from the Dutch firm ASML.   Source: Santa Clara County District Attorney’s Office

据检察官埃林·韦斯特（ErinWest）称，56岁的Wanyu Li和48岁的Song Lan分别承认了一项重罪指控和轻罪指控，二者均因非法获取计算机数据而被判有罪。Wanyu Li被判处7个月的电子监控刑期，Song Lan被判处90天的社区服务。美国当局在 2019 年 5 月宣布逮捕这三人时，俞宗强已经前往中国。

ASML的律师指控俞宗强策划了这起窃取商业机密案。根据ASML专家的证词，俞宗强的员工在电子邮件中讨论了使用ASML公司的源代码来加速XTAL的软件开发。他们作证说，他还拥有ASML机密技术手册的副本，并通过电子邮件发送给了他的员工。

俞宗强作证说，当时他认为使用一些ASML内部材料来帮助指导XTAL的工作没有问题。

俞宗强在一封电子邮件中写道：“这对我们的建模工作是一个很好的参考。”

ASML反对炒作中国威胁，但仍对可能存在的侵权表示担忧

在ASML与XTAL官司胜诉后，荷兰《Financieele Dagblad》发表了一篇报道，声称ASML美国子公司研发部门的六名中国籍员工参与窃取相关技术，并与XTAL分享了ASML软件流程的信息，这违反了他们的雇佣合同。并热炒这些中国籍员工是中国间谍。此外，报道还称，经调查发现，XTAL的中国母公司是东方晶源。

随后，ASML反驳了这一说法。ASML CEO Peter Wennink表示，“报道中有很多失实的地方，这一报道试图扭曲事实，窃取知识产权的不仅仅有中国公民，也有其他国家的，却被有意的进行扭曲。”“这些员工来自于不同国家，他们窃取了ASML产品和服务的一小部分，将其出售给了ASML位于韩国的客户。此外，XTAL是一家有韩国和中国资金支持的公司。”

此外，ASML在2019年4月的一份新闻稿中表示：“关于政府指使‘阴谋’窃取我们的知识产权和商业机密的广泛猜测正是如此：广泛猜测。”并表示，“认为我们是国家阴谋的受害者的说法是错误的。”他说：“事实是，我们被少数硅谷员工抢劫，他们为了致富而违法。

然而，在这之前的几个月，ASML的律师曾试图直接将俞宗强的中国公司与中国的技术野心联系在一起。ASML律师安德鲁·怀恩特鲁布（AndrewWinetroub）向法庭表示：“这符合中国政府正在采用的更广泛战略。”他辩称，ASML有证据表明，东方晶源正在接受中国政府的资金，“XTAL也与此密切相关”。

ASML首席律师Ryan称：“他们想成为中国的ASML，窃取我们的软件是朝着正确方向迈出的一步。”

ASML律师表示将提供支持这些指控的证据。

当时XTAL的律师普特曼（Putterman）称，这相当于是对中国“后门偏见语调”的“重复努力”。随后，法官也指示 ASML应该专注于仅限于对美国公司 XTAL 的指控。

彭博社称，ASML的案件突显出许多西方公司在与中国打交道时所面临的复杂性。中国是ASML的第三大市场。但自2019年以来，荷兰政府阻止该公司在那里销售其最先进的EUV光刻设备。ASML反对这些限制。

大西洋理事会（Atlantic Council）高级研究员尼克·埃菲米亚德斯（NickEftimiades）表示，中国“将ASML置于非常尴尬的境地”。

追踪中国知识产权盗窃和间谍案件的前美国国防部官员埃夫蒂米亚德斯（Eftimiades）表示：“这不是第一次有公司被窃密，并拒绝将其公开。”“许多公司竭尽全力不让公众、股东和投资者知道这些事件。”

联邦调查局局长克里斯托弗·赖（Christopher Wry）说：“中国公司经常窃取美国的知识产权，然后用它来与受害的美国公司竞争。”

中国外交部发表的一份官方声明称：“美国的反华政客一直在利用‘知识产权盗窃’话题抹黑中国”，并将这些指控称为“恶意炒作”。

值得注意的是，在今年2月发布的公司财报当中，ASML首度公开提及了对于东方晶源可能侵犯ASML知识产权一事的担忧。ASML表示，已经联系了部分客户要求暂停与XTAL有关联的东方晶源的业务往来，并已告知中国政府相关情况。

但是，ASML并不是直接指控，而是称“经相关报道了解到”。因此，东方晶源也直接回应称，

但对于ASML援引的媒体的指控，东方晶源回应称，“关注到近期在网络媒体上出现大量与我司有关、且与事实不符的报道。对于相关不实信息，我司将保留追究其法律责任的权利。”

截至目前，ASML公司也并未发起所谓的“法律行动”。

快速发展中的东方晶源

对于俞宗强来说，XTAL的麻烦并没有减缓东方晶源的崛起。

根据资料显示，东方晶源在2014年成立之后，就确立了以电子束图像检测、关键尺寸量测和计算光刻技术为主攻方向。

2015年，东方晶源与中国科学院微电子研究所签署了一份研究协议，该研究所是政府的半导体研究中心。东方晶源与该研究所成立了一家芯片技术开发合资企业。自那以后，东方晶源多次获得官方授予的荣誉和赞誉。

东方晶源还在2019年被授予了一项范围广泛的专利，其中包括OPC软件。

2021年上半年，东方晶源的CD-SEM成功出机国内晶圆代工龙头企业，市场地位进一步夯实；02国家重大专项、工业强基等项目顺利推进；成功被评定为第三批国家级专精特新“小巨人”企业。

此外，在客户的支持下，东方晶源还一举拿下多个重要订单，东方晶源三款核心产品均已在客户产线验证并实现订单，三款产品也因此填补国内空白，为中国集成电路制造国产化做出重要贡献。

2021年9月，东方晶源宣布完成新一轮数亿元股权融资。该轮融资由赛领资本、深创投领投，众多知名投资机构联合投资。

截止目前，东方晶源成功自主研发了计算光刻软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）三款核心产品，填补了多项国内市场空白，已经成为解决我国集成电路领域“卡脖子”问题的重要力量，对全产业链自主可控具有重要的战略价值和意义。

彭博社的报道还提及，在2020年出版的一本《中国科技企业家访谈录》当中，俞宗强被描写为中国半导体发展的“旗手”。他告诉作者，他最大的梦想之一是帮助中国创建自己的OPC软件，并“打破外国垄断”。

对于彭博社的最新报道，ASML 拒绝发表评论，东方晶源也拒绝发表评论。

编辑：芯智讯-浪客剑