1月26日，北京烁科中科信电子装备有限公司通过官方微信宣布，近日，公司多台离子注入机顺利完成交付。

资料显示，北京烁科中科信自成立之日起，就以攻克离子注入装备关键技术瓶颈，支撑我国电子元器件制造工艺装备自立自强为主责，以离子注入机装备研发与产业化为主业，全力保障我国产业链供应链安全与稳定，成功入选第五批国家级专精特新“小巨人”企业培育名单。

目前，北京烁科中科信中束流及大束流设备均已达成工艺指标，且工艺水准经过了先进集成电路产线验证，两种设备产线晶圆制备累计超过2000万片。高能离子注入机作为刚上线不久的兆伏级设备同样打通了28纳米节点，且与同类型设备相比，能量范围更宽、注入均一性能更好。

编辑：芯智讯-林子