3月21日，国产半导体设备厂商上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）在SEMICON China 2024上海国际半导体展览会上，发布了面向CIS的大束流离子注入机新产品。

据介绍，凯世通自主研发的适用于CIS器件的低能大束流离子注入机，基于已批量验证的iStellar通用注入平台与光路系统，设备成熟稳定，媲美进口先进机型，具备卓越的金属污染控制、高精度注入角度控制等特点。

产品特点：

⋄面向CIS产品的金属污染控制

⋄高精度注入角度控制

⋄先进大束流离子源

⋄高效低能束流传输系统

⋄面向先进工艺的大工艺腔体

⋄高效高真空离子注入平台

⋄高可靠性软件及控制系统

凯世通市场销售副总经理张长勇表示：“当前CIS市场进入了蓬勃发展的时期，手机多摄头配置、汽车智能驾驶、VR/AR可穿戴设备、智慧安防、机器视觉等新兴应用催生CIS市场不断壮大。CIS产品对金属污染与注入角度有很高的要求，凯世通通过多项技术创新，满足了CIS对离子注入机的技术要求。未来，凯世通将在继续提升现有拳头产品——低能大束流离子注入机与高能离子注入机市场竞争力的同时，不断丰富产品线，构建全系列离子注入机产品矩阵，为客户贡献更多卓越装备。”

编辑：芯智讯-浪客剑