日期 2024 年 1 月 9 日

北方华创12英寸HDPCVD设备进入客户生产线

1月9日消息,近日,由国产半导体设备龙头厂商——北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学气相沉积(HDPCVD)设备Orion Proxima正式进入客户端验证。这标志着北方华创在绝缘介质填充工艺技术上实现了新的突破,也为北方华创进军12英寸介质薄膜设备领域,打开百亿级市场迈出了坚实的一步。