光刻机子系统之——对准标记及对准系统

光刻机的对准系统(Alignment System)负责把掩膜上的图形和晶圆上已经有的图形对准,以保证曝光后图形之间的准确套刻。其主要过程包括掩膜的预对准和定位、晶圆的预对准、掩膜工件台与晶圆工作台之间的对准、掩膜与晶圆的对准四个步骤。

塔塔集团携手力积电,将建印度首座12英寸晶圆厂

半導體示意圖。(美聯社)
2月29日,力积电宣布,其将协助印度塔塔集团旗下塔塔电子(Tata Electronics)公司在印度古吉拉特邦(Gujarat)多雷拉(Dholera)兴建全印度第一座12英寸晶圆厂,预计在今年内动工的新厂,未来可望在当地创造超过2万个工作机会。

思锐智能成功完成数亿元B轮融资

图片
2月29日消息,青岛四方思锐智能技术有限公司(思锐智能)通过官方微信公众号宣布,近期已完成了数亿元B轮融资。该轮融资由上汽集团战略直投、尚颀资本和鼎晖投资联合领投;招商局创投、上海金浦、新鼎资本、创新工场、华控基金、青创投等知名投资者跟投;海松资本、海澳芯科、鑫芯创投、珩创投资、同歌创投等老股东持续加持。这一重要融资里程碑的顺利完成,得益于公司合作方及新老股东的鼎力支持和高度认可。

High NA EUV主要部件已经启动,达成“第一道光”里程碑!

3.5亿欧元!ASML展示High NA EUV光刻机
2月29日消息,据外媒Tomshardware报导,ASML与英特尔于本周宣布达成了High NA EUV的重要里程碑。ASML已向英特尔交付的最先进High NA EUV光刻机Twinscan EXE:5000的主要部件已经启动,即首度打开光源并使光线到达晶圆上的抗蚀层,并开始运作,表示光源和反射镜已正确对准。这是High-NA EUV光刻机启动过程中的关键一步,尽管目前尚未达到峰值性能。

打破国外垄断,首款国产稀释制冷机成功量产

图片
2月26日,安徽省量子信息工程技术研究中心及科大国盾量子技术股份有限公司联合发布消息,我国自主研发、用于超导量子计算机的国产稀释制冷机“ez-Q Fridge”,在交付客户后完成性能测试,其实际运行指标达到同类产品国际主流水平,成为国内首款可商用可量产的超导量子计算机用稀释制冷机,有望打破该设备市场长期被芬兰、英国、美国等国际厂商占据的格局。